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Glosario Nanotecnología / Término

Litografía por Haz de Electrones

E-beam Lithography

Proceso que usa electrones para crear patrones de enmascarado directamente sobre un sustrato. La longitud de onda de un haz de electrones tiene sólo unos pocos picómetros (10-12 m) comparados con la longitud de onda de 248 a 365 nanómetros de los sistemas tradicionales de enmascarado.

Enlace permanente: Litografía por Haz de Electrones - Fecha: 2016-04-07 03:31:04


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