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Glosario Nanotecnología / Término

Litografía por Haz de Iones

Ion Beam Lithography

Una variación de la técnica de litografía por haz de electrones que usa un haz de iones enfocado (FIB en inglés) en vez de electrones. En un arreglo similar a los microscopios de barrido electrónico, un haz de iones hace un barrido a través de la superficie del sustrato y expone electrones de un recubrimiento sensitivo.

Enlace permanente: Litografía por Haz de Iones - Fecha: 2016-04-07 03:31:04


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