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Glosario Nanotecnología / Término

Selectividad

Selectivity

La diferencia en la tasa de remoción entre dos materiales durante los procesos de grabado o de CMP (“Chemical Mechanical Planarization”; en español: Planarización Químico Mecánica).

Enlace permanente: Selectividad - Fecha: 2016-04-07 03:31:04


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