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Glosario Nanotecnología / Término

Depósito Químico en Fase Vapor

Chemical Vapor Growth Deposition

Este es un procedimiento de recubrimiento a altas temperaturas, lo cual se encuentra relacionado con operaciones de herramientas, e involucra la deposición de un material sólido sobre un sustrato caliente a través de reacciones químicas desde una fase gaseosa. Este proceso puede ser realizado en atmosferas controladas o en vacío.

Enlace permanente: Depósito Químico en Fase Vapor - Fecha: 2016-04-07 03:31:04


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