Grabado Químico/Físico en Seco
Dry Chemical/Physical Etching
También conocido como Grabado Reactivo por Iones (RIE en inglés). Es un proceso dirigido de grabado químico que se usa en procesos de micro/nano fabricación en el cual iones químicamente activos son acelerados a lo largo de líneas de campos eléctricos para chocar con un sustrato perpendicular a su superficie.