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Glosario Nanotecnología / Término

Grabado Químico/Físico en Seco

Dry Chemical/Physical Etching

También conocido como Grabado Reactivo por Iones (RIE en inglés). Es un proceso dirigido de grabado químico que se usa en procesos de micro/nano fabricación en el cual iones químicamente activos son acelerados a lo largo de líneas de campos eléctricos para chocar con un sustrato perpendicular a su superficie.

Enlace permanente: Grabado Químico/Físico en Seco - Fecha: 2016-04-07 03:31:04


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