Litografía Óptica
Optical Lithography
Un proceso usado para selectivamente remover partes de una película delgada (o partes del sustrato). Usa luz para transferir un patrón geométrico desde una máscara óptica hasta un químico sensible a la luz (fotoresina) sobre el sustrato. Una serie de tratamientos químicos graba el patrón expuesto en el material debajo de la fotoresina.